Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

  • 2007.06a
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  • Pages.95-96
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  • 2007
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  • 2005-8446(pISSN)
Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

Control of Dual-Servo with Nano resolution for UHV

진공용 나노스테이지의 이중 서보 제어에 관한 연구

  • 남경태 (한국생산기술연구원 로봇기술본부) ;
  • 김곤우 (한국생산기술연구원 로봇기술본부) ;
  • 강은구 (한국생산기술연구원 로봇기술본부) ;
  • 홍원표 (한국생산기술연구원 생산공정기술본부) ;
  • 이상무 (한국생산기술연구원 생산공정기술본부)
  • Published : 2007.06.20
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Abstract

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