Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

  • 2007.06a
  • /
  • Pages.107-108
  • /
  • 2007
  • /
  • 2005-8446(pISSN)
Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

Electrode Geometry for High Performance Planar ECF Pump

고출력 평면형 ECF 펌프를 위한 전극 구조

  • 서우석 (한국기계연구원 지능형정밀기계연구본부 정보장비연구센터) ;
  • 함영복 (한국기계연구원 지능형정밀기계연구본부 정보장비연구센터) ;
  • 박중호 (한국기계연구원 지능형정밀기계연구본부 정보장비연구센터) ;
  • 윤소남 (한국기계연구원 지능형정밀기계연구본부 정보장비연구센터)
  • Published : 2007.06.20
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords