Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2007.06a
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Pages.193-194
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2007
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Ellipsometry for Measuring Thin Film Thickness at Nano-Scale Within a Few Micrometers

수 마이크로 영역에서의 나노 박막 두께 측정을 위한 타원계측법

예상헌 (한국과학기술원 기계공학과) ;
곽윤근 (한국과학기술원 기계공학과) ;
김수현 (한국과학기술원 기계공학과) ;
조현모 (한국표준과학연구원 나노바이오 융합연구단) ;
조용재 (한국표준과학연구원 나노바이오 융합연구단) ;
제갈원 (한국표준과학연구원 나노바이오 융합연구단)

Published : 2007.06.20

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