한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

초정밀 위치제어 스테이지의 온도드리프트 보상을 위한 측정보조링크 설계에 대한 연구

A Study on the Design of the Sensing-assistant Linkage for Compensation of Thermal Drift of Ultra-precision positioning stage

  • 이경수 (국방과학연구소 기술연구본부) ;
  • 김수현 (한국과학기술원 기계항공시스템학부) ;
  • 곽윤근 (한국과학기술원 기계항공시스템학부)
  • 발행 : 2007.06.20
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