Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2007.06a
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Pages.663-664
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2007
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Fabrication of SU-8 Mask for Micro-AJM using 375nm Semiconductor UV Laser

375nm 반도체 UV 레이저를 이용한 미세 입자분사가공 SU-8 마스크의 제작

이승표 (충북대학교 정밀기계공학과) ;
이인환 (충북대학교 기계공학부) ;
고태조 (영남대학교 기계공학부) ;
이승재 (포항공과대학교 기계공학과) ;
강현욱 (포항공과대학교 기계공학과) ;
조동우 (포항공과대학교 기계공학과)

Published : 2007.06.20

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Abstract

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