Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)
- 2007.06a
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- Pages.673-674
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- 2007
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- 2005-8446(pISSN)
Prediction of Defects in Nanoimpring Lithography Using FEM Simulation
FEM 기반 결함 분석을 이용한 나노임프린트 공정 연구
- Published : 2007.06.20