Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2007.06a
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Pages.749-750
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2007
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Analysis of Contact Pressure Distribution for a 12" Wafer Final Polishing Machine

12인치 웨이퍼 파이널 폴리싱 머신의 가압 압력 분포 해석

노승국 (한국기계연구원 지능기계연구센터) ;
박종권 ((주)TiC 덕흥) ;
이상열 ((주)TiC 덕흥) ;
편도선 ((주)실트론)

Published : 2007.06.20

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Abstract

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