한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

압력의 변화에 따른 대구경 웨이퍼의 표면 거칠기 분포에 대한 연구

The Evaluation on Surface Roughness Range of Applied Pressure Variations

  • 이정택 (인하대학교 기계공학과 대학원) ;
  • 원종구 (인하대학교 기계공학과 대학원) ;
  • 김백겸 (인하대학교 기계공학과 대학원) ;
  • 이은상 (인하대학교 기계공학과) ;
  • 이상렬 (TiC 덕흥공업)
  • 발행 : 2007.06.20
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