Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)
- 2007.06a
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- Pages.104-105
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- 2007
Effects of Argon Gas on Amorphous Carbon Layer Deposited by PECVD
PECVD에 의해 증착된 비정질 탄소층에서 아르곤 가스의 효과
- Kim, Kyung-Soo (ATTO Co. Ltd) ;
- Bae, Geun-Hag (ATTO Co. Ltd) ;
- Noh, Hyung-Wook (ATTO Co. Ltd) ;
- Park, So-Yeon (ATTO Co. Ltd) ;
- Kim, Ho-Sik (ATTO Co. Ltd) ;
- Park, Sung-Ho (DanKook Univ.) ;
- Jung, Ju-Hee (DanKook Univ.) ;
-
Jung, Il-Hyun
(DanKook Univ.)
- 김경수 ((주)아토) ;
- 배근학 ((주)아토) ;
- 노형욱 ((주)아토) ;
- 박소연 ((주)아토) ;
- 김호식 ((주)아토) ;
- 박성호 (단국대학교) ;
- 정주희 (단국대학교) ;
-
정일현
(단국대학교)
- Published : 2007.06.21
Abstract
3,3-Dimethyl-1-butene(