Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers (한국전기전자재료학회)
권호 표지

Dielectric Properties of $BaTiO_3$ Layer with Zero Shrinkage By Glass Infiltration

Glass Infiltration에 의한 무수축 $BaTiO_3$ Layer의 유전특성

  • Jang, Ui-kyeong (System Module Team Division of Fusion Technology, Kor. Institute Ceram, Engineering and Technology) ;
  • Shin, Hyo-Soon (System Module Team Division of Fusion Technology, Kor. Institute Ceram, Engineering and Technology) ;
  • Yeo, Dong-Hun (System Module Team Division of Fusion Technology, Kor. Institute Ceram, Engineering and Technology) ;
  • Kim, Jong-Hee (System Module Team Division of Fusion Technology, Kor. Institute Ceram, Engineering and Technology)
  • 장의경 (요업(세라믹)기술원 융복합기술본부 시스템모듈팀) ;
  • 신효순 (요업(세라믹)기술원 융복합기술본부 시스템모듈팀) ;
  • 여동훈 (요업(세라믹)기술원 융복합기술본부 시스템모듈팀) ;
  • 김종희 (요업(세라믹)기술원 융복합기술본부 시스템모듈팀)
  • Published : 2007.06.21
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Abstract

LTCC 소재는 glass/ceramic composite로 구성된다. LTCC 소재에 embedding 되는 고유전율 소재 또한 이와 같은 소재설계를 통하여 무수축 접합이 가능할 것으로 판단된다. 그러나 이에 대한 연구결과가 보고된바 없고 몇몇 $Al_2O_3$의 infiltration에 대한 무수축 소성 관련 선행 연구를 바탕으로 고유전율 소재인 $BaTiO_3$의 무수축 소성이 연구되는 것이 필요한 시점이다. 따라서 본 연구는 저온에서의 glass infiltration에 의한 무수축 $BaTiO_3$ layer의 저온소성특성 및 유전특성을 평가하였다. 실험결과 $785^{\circ}C$에서 glass의 충분한 침투가 확인되며 결정구조에서는 glass/$BaTiO_3$ composite이 형성되었다. 무수축 접합 layer의 소성조건과 glass 두께 변화에 따른 유전특성 및 layer의 결정구조를 비교평가 하였다.

Keywords