Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

2007.11a
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Pages.12.1-12.1
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2007

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

Bosch process에 의한 식각형상 예측을 위한 전산모사

김창규 (한국과학기술원 신소재공학과) ;
이도선 (한국과학기술원 신소재공학과) ;
이원종 (한국과학기술원 신소재공학과)

Published : 2007.11.02

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Abstract

Keywords

Bosch process

전산모사;