Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Electrical properties of lanthanum hafnium oxide thin films deposited by electron cyclotron resonance atomic layer deposition

  • 김웅선 (한양대학교 신소재공학과) ;
  • 고명균 (한양대학교 신소재공학과) ;
  • 김태섭 (한양대학교 신소재공학과) ;
  • 박상균 (한양대학교 신소재공학과) ;
  • 박종완 (한양대학교 신소재공학과)
  • Published : 2007.11.02
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Abstract

Keywords