Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

2007.11a
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Pages.63.1-63.1
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2007

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

마이크로 웨이브 플라즈마 CVD법에 의한 Si기판위의 다이아몬드 증착 및 특성

김선미 (한국생산기술연구원) ;
김택수 (한국생산기술연구원) ;
강승구 (신한다이아몬드) ;
송민석 (신한다이아몬드)

Published : 2007.11.02

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Abstract

Keywords

표면처리;