Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2007.11a
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- Pages.103.2-103.2
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- 2007
Dry etching of Polymethyl methacrylate (PMMA) in capacitively coupled $SF_6,\;SF_6/Ar\;and\;SF_6/CH_4$ plasmas
- Park, Yeon-Hyeon ;
- Ju, Yeong-U ;
- Kim, Jae-Gwon ;
- No, Ho-Seop ;
- Lee, Jin-Hui ;
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Lee, Je-Won
;
- Jo, Gwan-Sik ;
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Song, Han-Jeong
- 박연현 (인제대학교 나노공학부, 나노메뉴팩쳐링 연구소) ;
- 주영우 (인제대학교 나노공학부, 나노메뉴팩쳐링 연구소) ;
- 김재권 (인제대학교 나노공학부, 나노메뉴팩쳐링 연구소) ;
- 노호섭 (인제대학교 나노공학부, 나노메뉴팩쳐링 연구소) ;
- 이진희 (인제대학교 나노공학부, 나노메뉴팩쳐링 연구소) ;
-
이제원
(인제대학교 나노공학부, 나노메뉴팩쳐링 연구소)
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- 조관식 (인제대학교 나노공학부, 나노메뉴팩쳐링 연구소) ;
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송한정
(인제대학교 나노공학부, 나노메뉴팩쳐링 연구소)
- Published : 2007.11.02