Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 2007.11a
- /
- Pages.69-70
- /
- 2007
Effect of additional electromagnetic coil current on the discharge characteristics of magnetron sputtering
보조 전자기 코일이 마그네트론 방전특성에 미치는 영향
-
Byeon, Eung-Seon
;
-
Lee, Geon-Hwan
;
- Golosov, Dimitr (Belarussian State University of Information and Radioelectronics) ;
- Svadkovski, Igor (Belarussian State University of Information and Radioelectronics) ;
- Jeon, Sang-Jo ;
- Kim, Yeong-Sin
- Published : 2007.11.12
Abstract
본 연구에서는 스퍼터된 원자의 이온화율을 높여 스퍼터링 효율 및 증착된 박막의 특성을 향상시킬 목적으로, 스퍼터 타깃과 기판사이에 보조 전자기코일을 부가하였다. 실험결과, 보조 전자기 코일을 통해 전자장 분포를 제어함으로 인해 스퍼터링 효율 및 박막의 증착 균일도를 동시에 향상시킬 수 있었으며, 나아가 입사이온의 증가로 인해 증착된 박막의 특성도 향상됨을 예상할 수 있었다.
Keywords