Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

Study on IZO films deposited by magnetron sputtering at low temperature and its application for flexible display

마그네트론 스퍼터링법으로 저온 증착한 IZO 박막의 특성 및 유연성 소자 적용

  • 박미랑 (부산대학교, 재료공학과) ;
  • 강재욱 (한국기계연구원, 재료연구소, 기능박막그룹) ;
  • 김도근 (한국기계연구원, 재료연구소, 기능박막그룹) ;
  • 이건환 (한국기계연구원, 재료연구소, 기능박막그룹) ;
  • 송풍근 (부산대학교, 재료공학과)
  • Published : 2007.11.12
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Abstract

마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 $100^{\circ}C$미만의 저온에서 플라스틱 기판위에 IZO(Indium Zinc Oxide) 박막을 증착하였다. 저전압 방전을 위하여 RF 중첩형 DC 마그네트론 스퍼터링 방법을 사용하였으며, 인가 power에 따른 IZO 박막의 전기적, 광학적 특성과 굽힘에 대한 신뢰성을 평가하였다. 플라스틱 기판이 변형되지 않도록 $90\;^{\circ}C$ 이하의 범위에서 기판온도와 산소분압을 변화하여 $2{\times}10^{-4}$ ${\Omega}$ cm의 비저항, 95 % 이상의 가시광 투과도를 가지는 IZO 박막을 증착할 수 있었다. 또한 본 연구에서 비가열의 플라스틱기판 위에 증착한 IZO 투명전극을 이용하여 유연성 OLED를 제작하였으며, 제작된 소자의 특성은 13.7 %의 최대양자 효율과 32.7 lm/W의 전력효율을 보였다.

Keywords