Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

Synthesis and characterization of Ti-Cx-N1-x coatings prepared by arc ion plating

아크 이온 플레이팅법으로 증착된 $Ti-C_x-N_{1-x}$ 코팅막의 분석 및 특성

  • 안성규 (부산대학교 하이브리드소재 솔루션 국가핵심연구센터) ;
  • 윤지환 (부산대학교 재료공학과) ;
  • 김광호 (부산대학교 재료공학과)
  • Published : 2007.11.12
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Abstract

3성분계 $Ti-C_x-N_{1-x}$ 코팅막은 AIP(Arc Ion Plating)법에 의해 -25V의 바이어스와 $300^{\circ}C$의 분위기에서 스테인리스 스틸 기판 위에 증착시켰다. $Ti-C_x-N_{1-x}$ 코팅막 안의 탄소(carbon)는 유입가스 비 $CH_4/(CH_4+N_2)$를 변화시키며 합성하였다. 탄소(carbon)가 증가함으로써, $Ti-C_x-N_{1-x}$ 코팅막의 미세경도는 TiN 코팅막의 20 GPa로부터 x=0.52에서 최대 약 32 GPa로 측정되었다. 또한, 미세구조는 잔류응력과 관련 있으며 탄소 함량에 따라 평균마찰계수가 크게 감소하였다.

Keywords