Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

Tribological properties of CrN / CrAlN superlattice thin films by CFUBMS

CFUBM 시스템으로 합성한 CrN / CrAlN 초격자 박막의 마찰 특성

  • 변태준 (성균관대학교 신소재공학부 플라즈마 응용 표면기술 연구센터 ) ;
  • 김연준 (성균관대학교 신소재공학부 플라즈마 응용 표면기술 연구센터 ) ;
  • 한전건 (성균관대학교 신소재공학부 플라즈마 응용 표면기술 연구센터 )
  • Published : 2007.11.12
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Abstract

초고경도 박막을 얻기 위해 질화물을 이용한 CrN / CrAlN 초격자 박막을 CFUBM 시스템을 통해 합성하였다. 초격자 박막의 각층의 두께 (${\lambda}$)는 기판의 회전 속도를 이용하여 제어하여 4.4 에서 44.1 nm 까지 합성하였다. 박막의 결정구조 및 미세구조를 분석하기 위하여 고분해능 X선 회절 분석기 (HR-XRD)를 이용하였으며, 박막의 기계적 성질은 나노 인덴터와 ball on disk tester를 통해 분석하였다. CrN / CrAlN 초격자 박막은 각층의 두께 (${\lambda}$)에 따라 28.77 GPa에서 31.97 GPa의 경도 값을 나타내었으며, 미세구조와 기계적 특성이 변화를 관찰할 수 있었다.

Keywords