Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

OLED Equipment for Next Generation using High Efficiency Evaporation Method

고효율 Evaporation법을 이용한 차세대 OLED 증착기

  • 박영호 (선익시스템 부설연구소) ;
  • 김종운 (선익시스템 부설연구소)
  • Published : 2007.04.05
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Abstract

OLED는 유기물을 이용한 진공 증발 증착법(Evaporation)에 의해 제조하고 있으며, 2세대 기판을 사용하고 있는 현재의 개념으로는 유기물 증착 효율이 수 %에 그치고 증착속도도 수 A/s로 상당히 낮다. OLED 제조의 생산성을 향상하기 위해서 증착속도로 10A/s이상, 제조 단가를 줄이기 위해 재료의 효율도 30% 이상으로 향상시킬 수 있었다.

Keywords