한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)

한국표면공학회 (The Korean Institute of Surface Engineering)
권호 표지

저온 마그네트론 스퍼터링에 의해 합성된 IZO 박막의 전기적 특성

Electrical properties of IZO thin films using magnetron sputtering method at low temperature

  • 박미랑 (한국기계연구원, 표면기술연구센터, 부산대학교, 재료공학부) ;
  • 김도근 (한국기계연구원, 표면기술연구센터) ;
  • 이성훈 (한국기계연구원, 표면기술연구센터) ;
  • 이건환 (한국기계연구원, 표면기술연구센터) ;
  • 송풍근 (부산대학교, 재료공학부)
  • 발행 : 2007.04.05
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초록

마그네트론 스퍼터링 공정을 이용하여 $100^{\circ}C$미만의 저온에서 산소유량을 변화시켜 Indium Zinc Oxide(IZO) 박막을 증착하였다. 기판온도의 영향과 산소유량의 변화에 따른 IZO 박막의 전기적 특성 변화를 조사하였다. 그 결과 가열하지 않고 증착한 경우 산소유량비의 증가와 함께 IZO 박막의 비저항이 증가되었고, $80^{\circ}C$로 증착온도를 가열한 경우 산소유량비 조절조건에 따라 최소 비저항이 얻어졌다. IZO 박막의 최저 비저항은 증착온도 $80^{\circ}C$, 산소유량비 1%조건에서 $2{\times}10^{-4}$ ${\Omega}$ cm로 나타났다.

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