한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)

한국표면공학회 (The Korean Institute of Surface Engineering)
권호 표지

3D ICP에서 multi-segment antenna 구성에 따른 플라즈마 특성 모델링

3D modeling of plasma characteristics for multi-segment antenna inductively coupled plasma

  • 양원균 (군산대학교 신소재 나노화학 공학부) ;
  • 김영욱 (군산대학교 신소재 나노화학 공학부) ;
  • 고석일 (군산대학교 신소재 나노화학 공학부) ;
  • 주정훈 (군산대학교 신소재 나노화학 공학부)
  • 발행 : 2007.04.05
PDF 다운로드
⟨ 이전 논문 다음 논문 ⟩

초록

유도결합 플라즈마(ICP)를 이용한 CVD 장치에서 플라즈마를 발생시키기 위한 안테나의 구조는 매우 중요하다. 전자 온도와 전자 밀도에 직접적인 영향을 주게 되며, 뿐만 아니라 증착 물질의 두께 균일도에 결정적인 역할을 하게 된다. 본 연구에서는 플라즈마 특성 균일도 최적화를 위하여 2turn 직렬, 병렬, 혼합의 ICP 안테나의 구조에 대하여 플라즈마 특성 및 $SiO_2$ CVD 증착 특성을 계산하였다.

키워드