Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

Syntheses and mechanical properties of Cr-Mo-Si-N coatings by a hybrid coating system

하이브리드 코팅시스템을 이용한 Cr-Mo-Si-N 코팅의 합성 및 기계적 특성

  • 윤지환 (부산대학교, 재료공학과) ;
  • 안성규 (부산대학교, 재료공학과) ;
  • 이주희 (부산대학교, 재료공학과) ;
  • 김광호 (부산대학교, 재료공학과)
  • Published : 2007.04.05
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Abstract

Cr-Mo-Si-N 코팅막은 AISI D2 모재와 Si 모재위에 $Ar/N_2$ 혼합기체를 사용하여 AIP (arc ion plating) 방법과 마그네트론 스퍼터링 (DC magnetron sputtering) 방법을 결합시킨 하이브리드 코팅시스템을 이용하여, 증착하였다. XRD, HRTEM, XPS 등의 분석장비를 이용하여 Cr-Mo-Si-N 코팅의 미세구조를 관찰하였다. Cr-Mo-Si-N 코팅의 경도는 Si함량이 12.1 at.%에서 약 50 GPa의 최고치를 나타냈으며, 평균 마찰계수는 Si 함량이 증가할수록 감소하였다.

Keywords