대한전자공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the IEEK Conference)
- 대한전자공학회 2007년도 하계종합학술대회 논문집
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- Pages.441-442
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- 2007
DC magnetron 방법과 RF 스퍼터링 방법으로 제작된 Nickel Oxide 박막의 특성 연구
A study of Nickel Oxide thin film deposited by DC magnetron and RF sputtering method
- 최광남 (경희대학교 전자공학과) ;
- 박준우 (경희대학교 물리학과) ;
- 백숭호 (경희대학교 물리학과) ;
- 이호선 (경희대학교 물리학과) ;
- 곽성관 (유한대학 전자정보과) ;
- 정관수 (경희대학교 전자공학과)
- Choi, Kwang-Nam (Electronic Engineering Kyunghee University) ;
- Park, Jun-Woo (Physics Kyunghee University) ;
- Baek, Seoung-Ho (Physics Kyunghee University) ;
- Lee, Ho-Sun (Physics Kyunghee University) ;
- Kwak, Sung-Kwan (Department of Electronic Engineering Yuhan College) ;
- Chung, Kwan-Soo (Electronic Engineering Kyunghee University)
- 발행 : 2007.07.11
초록
We deposited nickel oxide(NiO) thin films on silicon(Si) substrates at Room temperature and
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