Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)
- 2008.11a
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- Pages.1-2
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- 2008
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- 2005-8446(pISSN)
The Development of Pollshing Deveice for Ultra-precision Using Microfishing Film
마이크로 피니싱필름을 이용한 초정밀 연마장치 개발
- Published : 2008.11.12
Abstract
Keywords