한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)
- 한국정밀공학회 2008년도 추계학술대회 논문집
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- Pages.1-2
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- 2008
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- 2005-8446(pISSN)
마이크로 피니싱필름을 이용한 초정밀 연마장치 개발
The Development of Pollshing Deveice for Ultra-precision Using Microfishing Film
- 발행 : 2008.11.12