한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

초정밀 리니어 스테이지의 운동오차 측정방법

Measurement Method of Motion Errors in Ultra Precision Linear Stage

  • 김인동 (한양대학교 기계공학과) ;
  • 신동익 (한양대학교 기계공학과) ;
  • 장재호 (한양대학교 기계공학과) ;
  • 한창수 (한양대학교 기계정보경영학부)
  • 발행 : 2008.11.12
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