Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2008.11a
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Pages.83-84
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2008
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Study on CMP of Ni for Application of Electronic Materials

전자재료 응용을 위한 니켈의 화학기계적 연마특성연구

김형재 (한국생산기술연구원) ;
김성렬 (한국생산기술연구원) ;
류호연 (한국생산기술연구원) ;
정해도 (부산대학교 정밀기계공학과)

Published : 2008.11.12

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Abstract

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