마이크로 및 나노구조 제조를 위한 레이저 직접묘화기술의 응용

Fabrication of Micro and Nano Structures Using Laser Direct Writing Technique

  • 박종복 (광주과학기술원 기전공학과) ;
  • 정성호 (광주과학기술원 기전공학과) ;
  • 정문석 (광주과학기술원 고등광기술연구소)
  • 발행 : 2008.11.12