한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

고정밀 Align을 위한 Gantry-stage의 열 변형 오차 제어 연구

A Study on Thermal Deformation ErrorControl of Gantry-Stage for the High-Precision Align

  • 조성만 (서울산업대학교 나노생산기술연구소) ;
  • 박기남 (2서울산업대학교 나노아이티공학과) ;
  • 조웅 (서울산업대학교 기계설계 자동화공학부) ;
  • 송춘삼 (서울테크노파크) ;
  • 김종형 (서울산업대학교 기계설계 자동화공학부)
  • 발행 : 2008.11.12
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