한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)
- 한국정밀공학회 2008년도 추계학술대회 논문집
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- Pages.401-402
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- 2008
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- 2005-8446(pISSN)
유기반도체 생산용 초정밀 로봇 시스템의 신뢰성 예측
Reliability Prediction of superprecision Robot System for Organic semiconductor
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최영재
(한국생산기술연구원 e가공공정팀)
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홍원표
(한국생산기술연구원 e가공공정팀)
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강은구
(한국생산기술연구원 e가공공정팀)
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한석윤
((주)두산 메카텍)
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- 이남훈 ((주)두산 메카텍)
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Choi, Y.J.
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Hong, W.P.
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Kang, E.G.
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Han, S.Y.
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- Lee, N.H.
- 발행 : 2008.11.12