Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2008.11a
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Pages.407-408
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2008
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Evaluation and Fabrication of Multi-Aperture for Multi-FIB

다중 FIB 용 다중개구 제작 및 평가

최연순 (연세대학교 정보저장공학 협동과정) ;
김태곤 (연세대학교 기계공학과) ;
민병권 (연세대학교 기계공학과) ;
김영주 (연세대학교 정보저장공학 협동과정)

Published : 2008.11.12

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Abstract

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