한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

다중 FIB 용 다중개구 제작 및 평가

Evaluation and Fabrication of Multi-Aperture for Multi-FIB

  • 최연순 (연세대학교 정보저장공학 협동과정) ;
  • 김태곤 (연세대학교 기계공학과) ;
  • 민병권 (연세대학교 기계공학과) ;
  • 김영주 (연세대학교 정보저장공학 협동과정)
  • 발행 : 2008.11.12
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