한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

유한요소해석을 사용한 주사전자 현미경 대물렌즈의 특성평가

Evaluation of an Objective Lens for Scanning Electron Microscope by FE Analysis

  • 이재진 (서울산업대학교 기계설계자동화공학부) ;
  • 박만진 (서울대학교 기계설계항공공학부) ;
  • 박근 (서울산업대학교 기계설계자동화공학부) ;
  • 김동환 (서울산업대학교 기계설계자동화공학부) ;
  • 장동영 (서울산업대학교 산업정보시스템공학과)
  • 발행 : 2008.11.12
PDF 다운로드
⟨ 이전 논문 다음 논문 ⟩

초록

키워드