한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

저전압 가속 전자빔 응용 노광 특성

E-beam Lithography Characteristics with Low Acceleration Voltage

  • 김재구 (한국기계연구원 나노기계연구본부) ;
  • 오승훈 (부산대학교 나노시스템공정학과) ;
  • 조성학 (한국기계연구원 나노기계연구본부) ;
  • 정명영 (부산대학교 나노시스템공정학과) ;
  • 최두선 (한국기계연구원 나노기계연구본부)
  • 발행 : 2008.11.12
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