한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

t-Butyl alcohol 승화를 이용한 stiction 개선

Improvement of Stiction Problem Using t-Butyl alcohol Sublimation

  • 김성현 (부산대학교 대학원 기계공학부) ;
  • 박인백 (부산대학교 대학원 기계공학부) ;
  • 김재현 (부산대학교 대학원 기계공학부) ;
  • 이석희 (부산대학교 기계공학부) ;
  • 김호찬 (안동대학교 기계공학부)
  • 발행 : 2008.11.12
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