한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

Pt/Pd 합금 박막의 열적 응집현상을 이용한 대면적 나노 구조 반사방지 표면

Fabrication of Large Area Subwavelength Antireflection Structures Using Thermally Dewetted Pt/Pd Alloy Etch Mask

  • 이영재 (연세대학교 기계공학과) ;
  • 강정진 (한국생산기술연구원 인천연구센터) ;
  • 김종백 (연세대학교 기계공학과)
  • 발행 : 2008.11.12
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