Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

  • 2008.11a
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  • Pages.727-728
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  • 2008
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  • 2005-8446(pISSN)
Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)
권호 표지

A Study on the Releasing of the UV Cured High Aspect Ratio Micro Features

UV 경화 수지를 이용한 고형상비 미세 패턴의 이형 특성에 관한 연구

  • 유영은 (한국기계연구원 나노공정기계연구본부) ;
  • 권기환 (충남대학교 메카트로닉스 공학과) ;
  • 윤재성 (한국기계연구원 나노공정기계연구본부) ;
  • 박영우 (충남대학교 메카트로닉스 공학과) ;
  • 최두선 (한국기계연구원 나노공정기계연구본부)
  • Published : 2008.11.12
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Abstract

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