한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

피코세컨드 레이저를 이용한 실리콘 웨이퍼 드릴링

Silicon wafer drilling using Picosecond laser ablation

  • 노지환 (한국기계연구원 지능형 생산 시스템 연구 본부) ;
  • 손현기 (한국기계연구원 지능형 생산 시스템 연구 본부) ;
  • 신동식 (한국기계연구원 지능형 생산 시스템 연구 본부) ;
  • 백병만 (한국기계연구원 지능형 생산 시스템 연구 본부) ;
  • 서정 (한국기계연구원 지능형 생산 시스템 연구 본부) ;
  • 이제훈 (한국기계연구원 지능형 생산 시스템 연구 본부)
  • 발행 : 2008.11.12
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