Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2008.11a
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Pages.747-748
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2008
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Analysis of Photomechanical Damages in Laser Drilling of Thin Silicon Wafer

실리콘 박막의 레이저 가공 시 발생하는 광기계적 손상 해석

오부국 (포스텍 기계공학과 대학원) ;
김동식 (포스텍 기계공학과) ;
김태현 (이오테크닉스) ;
전은숙 (이오테크닉스) ;
김남성 (이오테크닉스)

Published : 2008.11.12

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