분광타원법을 이용한 ZnS-$SiO_2$ 박막의 산소유량 변화에 따른 광학 물성 변화 연구

Dependence of Optical Property of ZnS-$SiO_2$ Film on Oxygen Flow Rate Investigated by Spectroscopic Ellipsometry

  • 최중규 (아주대학교 분자과학기술학과) ;
  • 박상욱 (아주대학교 분자과학기술학과) ;
  • 류장위 (아주대학교 분자과학기술학과) ;
  • 변영섭 (아주대학교 분자과학기술학과) ;
  • 신유식 (아주대학교 분자과학기술학과) ;
  • 김상열 (아주대학교 분자과학기술학과) ;
  • 서훈 (LG전자기술원)
  • 발행 : 2008.02.01