한국광학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Optical Society of Korea Conference)

한국광학회 (Optical Society of Korea)
권호 표지

펨토초 레이저를 이용한 PR 패터닝 기술

Maskless femtosecond laser PR patterning technology

  • 손익부 (광주과학기술원 고등광기술연구소 미세광학연구실) ;
  • 노영철 (광주과학기술원 고등광기술연구소 미세광학연구실) ;
  • 김영섭 (광주과학기술원 고등광기술연구소 미세광학연구실) ;
  • 고도경 (광주과학기술원 고등광기술연구소 미세광학연구실) ;
  • 이종민 (광주과학기술원 고등광기술연구소 미세광학연구실)
  • 발행 : 2008.02.01
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