Proceedings of the Optical Society of Korea Conference (한국광학회:학술대회논문집)
- 2008.02a
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- Pages.239-240
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- 2008
The Multichannel Frequency Scanning Laser for The High Speed Measurement of Nano Structure
고속 나노 형상 측정을 위한 다채널 주파수 스캐닝 레이저
- Jang, Ro-Ma ;
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Kim, Jae-Wan
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Kim, Jong-An
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- Gang, Ju-Sik ;
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Eom, Tae-Bong
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- Kim, Jae-Eun ;
- Park, Hae-Yong
- 장로마 (한국과학기술원 물리학과) ;
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김재완
(한국표준과학연구원 기반표준본부)
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김종안
(한국표준과학연구원 기반표준본부)
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- 강주식 (한국표준과학연구원 기반표준본부) ;
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엄태봉
(한국표준과학연구원 기반표준본부)
;
- 김재은 (한국과학기술원 물리학과) ;
- 박해용 (한국과학기술원 물리학과)
- Published : 2008.02.01
Abstract
Keywords