Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)
- 2008.11a
- /
- Pages.224-224
- /
- 2008
Improvement in Dielectric Properties of Aerosol-Deposited $Al_2O_3$ -polyimide Composite Thick Films through Heat Treatment
에어로졸데포지션법으로 성막된 $Al_2O_3$ -polyimide 복합체 후막의 열처리를 통한 유전특성 향상
- Kim, Hyung-Jun (Kwangwoon Univ.) ;
- Park, Jae-Chang (KICET) ;
- Yoon, Young-Joon (KICET) ;
- Kim, Jong-Hee (KICET) ;
- Nam, Song-Min (Kwangwoon Univ.)
- Published : 2008.11.06
Abstract
고주파용 집적회로 기판소재로의 응용을 위해 세라믹 특유의 취성을 개선한