Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers (한국전기전자재료학회)
권호 표지

Directional copper(II) phthalocyanine(Cu-Pc) thin films with thermal conditions by thermal evaporation deposition technique

열진공증착기술에 의해 형성된 copper(II) phthalocyanine(Cu-Pc) 박막의 열처리 조건에 따른 결정성장 방향특성 연구

  • Kim, Mi-Jung (Korea Research Institute of Standard and Science) ;
  • Kang, Sang-Baek (Physics Dept. Kunsan National Univ., Physics Dept.) ;
  • Chae, Young-An (Physics Dept. Kunsan National Univ., Physics Dept.) ;
  • Oh, Dong-Hoon (Physics Dept. Kunsan National Univ., Physics Dept.) ;
  • Yoon, Chang-Sun (Physics Dept. Kunsan National Univ., Physics Dept.) ;
  • Lee, Ki-Jin (Sogang Univ. Vacuum Center) ;
  • Kim, Jin-Tae (Korea Research Institute of Standard and Science) ;
  • Hong, Seung-Soo (Korea Research Institute of Standard and Science) ;
  • Lim, In-Tea (Korea Research Institute of Standard and Science) ;
  • Lee, K.C. (Korea Research Institute of Standard and Science) ;
  • Hong, K.S. (Korea Research Institute of Standard and Science) ;
  • Cha, Deok-Joon (Physics Dept. Kunsan National Univ., Physics Dept.)
  • Published : 2008.11.06
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Abstract

Cu-Pc유기물 반도체를 얼 진공증착기술로 유리기판위에 40 nm 두께로 적층하였다. 상온에서 적층한 박막과 상온에서 적층한 후 $250^{\circ}C$ 이상의 온도로 후열 처리한 박막과 박막 적층 시 기판의 온도를 $250^{\circ}C$로 고정하여 적층한 박막들을 상호 비교 분석하였다. 적층된 Cu-Pc의 박막의 온도조건에 따라 X-ray diffraction(XRD)의 결정 특성이 $\alpha$-phase와 $\beta$-phase로 뚜렷이 구분되었으며， 자외선-가시광선 영역의 광 흡수도(UV-visible absorption spectra)와 field emission scanning electron microscopy(FE SEM)를 이용하여 결정성장 방향 및 표면 특성 변화를 비교조사하였다.

Keywords