Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference (한국전기전자재료학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers (한국전기전자재료학회)
권호 표지

The Improvement of Sensitivity Characteristics of Pd doped $SnO_2$ Nanowire Gas Sensor

Pd 도핑에 따른 $SnO_2$ 나노선 가스센서의 감도 특성 개선

  • Kim, Yeon-Woo (Department of Electronic Engineering, Chungju National University) ;
  • Kwon, Sun-Il (Department of Electronic Engineering, Chungju National University) ;
  • Park, Seung-Beom (Department of Electronic Engineering, Chungju National University) ;
  • Lee, Seok-Jin (Department of Electronic Engineering, Chungju National University) ;
  • Jung, Tae-Hwan (Department of Electronic Engineering, Chungju National University) ;
  • Yang, Kea-Joon (Department of Electronic Engineering, Chungju National University) ;
  • Lim, Dong-Gun (Department of Electronic Engineering, Chungju National University) ;
  • Park, Jae-Hwan (Department of Electronic Engineering, Chungju National University) ;
  • Kim, Hong-Oh (Department of Electronic Engineering, Chungju National University)
  • 김연우 (충주대학교 첨단과학기술대학 전자공학과) ;
  • 권순일 (충주대학교 첨단과학기술대학 전자공학과) ;
  • 박승범 (충주대학교 첨단과학기술대학 전자공학과) ;
  • 이석진 (충주대학교 첨단과학기술대학 전자공학과) ;
  • 정태환 (충주대학교 첨단과학기술대학 전자공학과) ;
  • 양계준 (충주대학교 첨단과학기술대학 전자공학과) ;
  • 임동건 (충주대학교 첨단과학기술대학 전자공학과) ;
  • 박재환 (충주대학교 첨단과학기술대학 전자공학과) ;
  • 김홍오 (충주대학교 첨단과학기술대학 전자공학과)
  • Published : 2008.06.19
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Abstract

$SnO_2$는 n형 반도체로써 3.6 eV의 큰 밴드갭을 가지는 물질로 CO와 NOx 가스에 좋은 감도를 나타내는 것으로 보고되고 있다. 문헌에 따른 일반적인 $SnO_2$ 가스센서는 후막이나 벌크형태로 제작되었다. 근래에는 가스감응체가 $SnO_2$ 나노선 형태인 가스센서가 활발한 연구 중에 있다. 본 논문에서는 기판 위에 서로 분리된 전극 패턴에 Au를 촉매로 하여 네트워크 구조로 된 $SnO_2$ 나노선이 합성되었다. 제작된 가스센서에 Pd 도핑에 따른 영향을 알아보기 위하여 1.8 mM의 Pd 용액 ($PdCl_2{\cdot}xH_2O$ 3 mg + $H_2O$ 10 ml)을 이용하여 센서에 도핑하였다. 측정 시스템에서 $NO_2$ 가스에 대한 센서의 특성을 분석한 결과 도핑하지 않은 $SnO_2$ 센서보다 20%정도의 감도가 개선되었다.

Keywords