ICP 보조형 RF Magnetron Sputter를 이용한 HfN 박막의 물성 연구

• Ju, Dae-Hyeon ;
• Lee, Jae-Yeong ;
• Yang, Jong-U ;
• Choe, Jong-In ;
• Park, Ji-Hye ;
• Park, Hwan-Jin ;
• Chae, Ju-Hyeon ;
• Cheon, Hui-Gon

• 주대현 (울산대학교 첨단소재공학과) ;
• 이재영 (울산대학교 첨단소재공학과) ;
• 양종우 (울산대학교 첨단소재공학과) ;
• 최종인 (울산대학교 첨단소재공학과) ;
• 박지혜 (울산대학교 첨단소재공학과) ;
• 박환진 (울산대학교 첨단소재공학과) ;
• 채주현 (울산대학교 첨단소재공학과) ;
• 천희곤 (울산대학교 첨단소재공학과)

• Published : 2008.02.14

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