한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)
- 한국정밀공학회 2008년도 춘계학술대회 논문집
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- Pages.69-70
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- 2008
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- 2005-8446(pISSN)
고진공 듀얼스테이지의 제어기 최적설계
Optimal Design of Controller for UHV Dual-Stage
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남경태
(한국생산기술연구원 로봇기술본부)
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- 심준홍 (한국생산기술연구원 로봇기술본부) ;
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강은구
(한국생산기술연구원 생산공정기술본부)
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홍원표
(한국생산기술연구원 생산공정기술본부)
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이상무
(한국생산기술연구원 로봇기술본부)
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Nam, K.T.
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- Shim, J.H. ;
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Kang, E.G.
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Hong, W.P.
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Lee, S.M.
- 발행 : 2008.06.11