대 면적 UV 임프린트장치의 가압 균일하에 관한 연구

A Study on the Equalization for Pressure of UV Imprint System for A Large-Area Replication

  • 김주현 (한국산업기술대학교 기계시스템설계) ;
  • 김광 (한국산업기술대학교 기계설계공학과)
  • 발행 : 2008.06.11