한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)
권호 표지

폴리실리콘 박막의 미소인장 시험

Micro-tensile Testing of Thin Poly-Si Film

  • 이상주 (한국기계연구원 나노기계연구본부) ;
  • 배종성 (한국기계연구원 나노기계연구본부) ;
  • 한승우 (한국기계연구원 나노기계연구본부) ;
  • 이학주 (한국기계연구원 나노기계연구본부) ;
  • 오충석 (금오공과대학교 기계공학과)
  • 발행 : 2008.06.11
PDF 다운로드
⟨ 이전 논문 다음 논문 ⟩

초록

키워드