한국정밀공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference)

한국정밀공학회 2008년도 춘계학술대회 논문집
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Pages.269-270
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2008
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2005-8446(pISSN)

한국정밀공학회 (Korean Society for Precision Engineering)

권호 표지

다중 입사각 반사광측정법을 이용한 박막의 두께측정

Angle-resolved reflectometer for thin-film thickness measurement

주우덕 (한국과학기술원 기계항공시스템공학부) ;
김승우 (한국과학기술원 기계항공시스템공학부)

Joo, W.D. ;
Kim, S.W.

발행 : 2008.06.11

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